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一种微力测量装置和方法
2023-06-12本发明公开了一种微力测量装置和方法，该装置包括呈梳状结构的一对第一平行板电容器和两对第二平行板电容器,以及两对力敏感元件、力加载探针、电容测量电路和微力测量单元,其中,第一平行板电容器为变距型电容器,第二平行板电容器为变面积型电容器,电容测量电路对力加载探针受力运动后第一平行板电容器和第二平行板电容器的电容进行测量,并通过微力测量单元根据所测量的电容分别计算得到小量程微力测量下和大量程微力测量下力加载探针的运动位移,并根据运动位移和力敏感元件的弹簧刚度计算得到相应量程微力测量下的微力大小。本发明具有高灵敏度和高服役寿命的特点，能够同时实现高精度和大量程测试以及测力分辨率调节。
国家知识产权局：
https://pss-system.cponline.cnipa.gov.cn/documents/detail?prevPageTit=changgui
万方数据库：
https://d.wanfangdata.com.cn/patent/ChJQYXRlbnROZXdTMjAyMzA5MDESEENOMjAyMzEwNjk1MTk0LjAaCG5ocHl6Ynl2
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